新能源趨勢下的微結(jié)構(gòu)精度

現(xiàn)代生活離不開電機和電氣傳動，多樣化的應用小至消費品行業(yè)的*小驅(qū)動部件如電動牙刷、DVD驅(qū)動，大到工業(yè)行業(yè)的起重機和電力機車所用的高性能驅(qū)動器等。微電子行業(yè)的設備對于機械精度都有非常高的要求，微結(jié)構(gòu)和*小的組件必須要對應在**的位置上，如半導體一樣在納米范圍內(nèi)或者電路板一樣在微米范圍內(nèi)的精度要求，這些確保了電氣布線和電氣功能的穩(wěn)定運作。

為了達到電機的性能優(yōu)化、節(jié)能、低噪聲、長壽命等特性來實現(xiàn)降低能耗，使用了新材料來減少機械部件的摩擦，并優(yōu)化了生產(chǎn)控制。除電子換向外，這還可減少電動機部件的不平衡。
隨著新能源發(fā)展的趨勢，電氣工程應用中的降低能耗適用于所有設備，如：

洗衣機
干衣機
電冰箱
洗碗機
消費類電子產(chǎn)品

另一個趨勢是設備和組件的小型化，如越來越扁平化的筆記本電腦或手機，這要求電子部件和更薄的多層電路板尺寸更小，尤其是對減小導體寬度和厚度以及過孔的可靠生產(chǎn)要求越來越高。

在電子元件領(lǐng)域，摩爾定律導致了16nm和10nm的制造工藝，這些非常小的結(jié)構(gòu)變量在生產(chǎn)和測量技術(shù)方面都是一個挑戰(zhàn)。“超過摩爾”的現(xiàn)狀已經(jīng)與MEMS、高壓、圖像傳感器或結(jié)構(gòu)尺寸高達55nm的集成存儲器等工藝模塊一起出現(xiàn)。燃料電池或鋰離子電池等新型儲能裝置也對微尺寸測量技術(shù)提出了新的要求。

電氣工程的生產(chǎn)過程通常是大批量的過程。為了保證生產(chǎn)質(zhì)量，在許多工序中都進行了100％的測量或檢查。工藝開發(fā)或組件開發(fā)也需要使用微尺寸測量技術(shù)。
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